DNS是廠商名字，中文叫迪恩士，就是化學(xué)清洗槽（也叫酸槽/化學(xué)槽），主要有HF,,H2SO4,H2O2，HCL等酸堿液體按一定比例配置，目的是為了去除雜質(zhì)，去離子,去原子，最后還有DI清洗。IPA是異丙醇，就是工業(yè)酒精，是用來clean機(jī)臺(tái)或parts的，是為了減少partical的。

DNS是廠商名字，中文叫迪恩士,12寸里它為主流設(shè)備，其主要主要有HF,,H2SO4,H2O2，HCL等酸堿液體按一定比例配置，目的是為了去除雜質(zhì)，去離子,去原子，最后還有DI清洗。IPA是異丙醇，用于干燥，其干燥槽叫做LPD,為其專利，全名為L(zhǎng)OW PRESSURE DRY,低壓干燥